本臭氧制备原理是间隙放电法，供电单元提供高压电场而使流过发生器的氧气在此电场中通过。臭氧发生器罐体本身和内部的放电室为接地极，高压电加到绝缘体的金属电极上，金属电极外部涂上了特殊的绝缘材料，这样在绝缘材料层和臭氧发生器罐体接地极之间形成了高压电场，氧气通过时通过高压电晕放电转化为臭氧。

氧气转化为臭氧的过程中释放热量，必须通过接地极的发生器水腔的冷却水带走热量以促进臭氧的转化效率，因此冷却水对臭氧制备非常重要。

水冷式臭氧发生器（高配）一般由气源系统、臭氧发生器、电源系统、冷却水系统、PLC控制系统、臭氧投加系统及尾气破坏系统等几大部分组成。此外，还有大量的辅助设备如测量系统、阀门及管道等。

臭氧发生系统组成图

发生室系统流程示意图

下图为较为完备的发生室系统流程，但不是所有的设备流程都是这样，部分设备根据实际应用和客户要求进行了适当的调整和精简。