臭氧发生器中臭氧的浓度对消菌非常重要，但如何检测浓度呢？臭氧技术采用适时玻璃管腔，该技术气源系统中臭氧发生器浓度为20mg/L，氧源系统臭氧发生设备浓度为100mg/L，当向臭氧发生器提供液氧作为气源时，臭氧浓度可达到0.1ppm。
1.紫外吸收法，原理是臭氧对波长λ=254微米的紫外光有较大的稀疏吸收，在此波长下紫外光通过臭氧层时会被衰减，符合定律：I=Ioe-klc，Io-入射光强I在没有无嗅的氧气的情况下，光束穿透臭氧后的光强，L-臭氧样品池光程长度：C-臭氧浓度：K-臭氧对光波长的吸收系数。

2.比色法，是根据臭氧与不同化学试剂之间的显色或脱色反应程度来确定臭氧浓度的方法。按色度学分为人工色样色度学和光度计色度学。该方法主要用于检测水中溶解臭氧的浓度。